一般而言，当水的电阻率达到18MΩ. cm时，即可认定为超纯水，目前而言，超纯水的制备工艺有精混床和EDI两种。精混床工艺是设备内置阴阳树脂，吸附水体内的阴阳离子，优质的阴阳树脂可以出水达到18MΩ. cm;EDI为连续电解除盐技术，通过将电渗析与离子交换结合，达到深度除盐的目的，出水可达到18. 25M Ω. cm。